ทั้งคู่ปั๊มสูญญากาศและคอมเพรสเซอร์เป็นอุปกรณ์สำหรับการประมวลผลก๊าซ แต่หลักการทำงานและขอบเขตของการใช้งานนั้นแตกต่างกัน
ฟังก์ชั่นหลักของปั๊มสูญญากาศคือการกำจัดก๊าซออกจากห้องปฏิกิริยาเพื่อลดความดันในภาชนะเพื่อให้ได้ระดับสูญญากาศที่กำหนดไว้ล่วงหน้า ก๊าซถูกสกัดจากพื้นที่ผ่านกลไกการดูดและไอเสียเพื่อสร้างสถานะสูญญากาศ ปั๊มสูญญากาศมักจะใช้ในห้องปฏิบัติการการผลิตและสาขาการผลิต ในเวเฟอร์ fabs, อุปกรณ์การแกะสลัก, อุปกรณ์การสะสม, อุปกรณ์พิมพ์หิน EUV, อุปกรณ์ฝังไอออน, อุปกรณ์ตรวจจับและการจำแนกลักษณะ ฯลฯ ทั้งหมดจำเป็นต้องถูกดูดฝุ่น
ฟังก์ชั่นของคอมเพรสเซอร์คือการสูดดมก๊าซและบีบอัดเพิ่มความดันของก๊าซบีบอัดก๊าซให้เป็นปริมาตรที่เล็กลงและเพิ่มความหนาแน่นและความดันของก๊าซ หลักการทำงานของมันคือการบีบอัดก๊าซผ่านวาล์วไอเสียจากนั้นใส่ก๊าซบีบอัดลงในถังแก๊สหรืออุปกรณ์อื่น ๆ คอมเพรสเซอร์มักใช้ในการประมวลผลและการผลิต ก๊าซ CDA ที่เรามักจะพูดถึงนั้นจัดทำโดยคอมเพรสเซอร์ CDA ใช้ในการควบคุมอุปกรณ์และวาล์วอัตโนมัติต่างๆ สำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ CDA จะต้องบริสุทธิ์และแห้งมาก การส่งออกอากาศโดยคอมเพรสเซอร์จำเป็นต้องผ่านระบบกรองที่ซับซ้อนเพื่อกำจัดน้ำมันความชื้นและอนุภาคอื่น ๆ เพื่อให้แน่ใจว่าไม่มีการปนเปื้อนของแผ่นเวเฟอร์
หมวดหมู่ของปั๊มสูญญากาศและคอมเพรสเซอร์?
ในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์จะใช้ปั๊มแห้งและปั๊มโมเลกุล ปั๊มแห้งหมายถึงปั๊มสูญญากาศที่ไม่ได้ใช้ของเหลวใด ๆ เป็นสื่อการปิดผนึกหรือการระบายความร้อนหลีกเลี่ยงปัญหาการปนเปื้อนของไอน้ำมัน โดยทั่วไปจะใช้สำหรับการสกัดสูญญากาศคร่าวๆของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ปั๊มโมเลกุลสามารถบรรลุระดับสูญญากาศที่สูงมาก ปั๊มแห้งและปั๊มโมเลกุลมักใช้ร่วมกันในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์เพื่อตอบสนองความต้องการของระดับสูญญากาศที่แตกต่างกัน
คอมเพรสเซอร์สามารถแบ่งออกเป็นลูกสูบ, สกรู, centrifugal, เครื่องอัดอากาศใบพัดโรตารี่ ฯลฯ
เนื่องจากการออกแบบที่แตกต่างกันและหลักการทำงานของปั๊มสูญญากาศและคอมเพรสเซอร์ปั๊มสูญญากาศมักจะไม่สามารถแทนที่คอมเพรสเซอร์ได้ แม้ว่าปั๊มสูญญากาศสามารถลดความดันและความหนาแน่นของก๊าซได้ นอกจากนี้เนื่องจากประสิทธิภาพที่ จำกัด และลักษณะการทำงานของปั๊มสุญญากาศจึงเหมาะสมที่สุดในการจัดการก๊าซความหนาแน่นต่ำและสภาพแวดล้อมที่มีแรงดันต่ำ
ดังนั้นหากก๊าซจำเป็นต้องถูกบีบอัดเป็นปริมาตรที่เล็กลงและความดันที่สูงขึ้นควรใช้คอมเพรสเซอร์ ในทางตรงกันข้ามหากจำเป็นต้องสกัดก๊าซและสถานะสูญญากาศจะเกิดขึ้นควรใช้ปั๊มสูญญากาศ
แม้ว่าทั้งคู่ปั๊มสูญญากาศและคอมเพรสเซอร์เป็นอุปกรณ์ที่ใช้ในการประมวลผลก๊าซมีความแตกต่างอย่างมากในการออกแบบและหลักการทำงาน แม้ว่าปั๊มสูญญากาศสามารถลดความดันและความหนาแน่นของก๊าซได้ แต่ก็ไม่สามารถแทนที่คอมเพรสเซอร์ได้โดยเฉพาะอย่างยิ่งเมื่อก๊าซจำเป็นต้องถูกบีบอัดเป็นปริมาตรที่เล็กลงและความดันที่สูงขึ้น
